Çift taraflı püskürtme ve elektron ışını buharlaşma Kombine vakum rulo kaplama sistemi - Verimli ve hassas ince film kaplama teknolojisi

Bu vakum kaplama yüksek vakum koşullarında kaplama için gelişmiş bir ekipmandır. Çift taraflı püskürtme ve elektron ışını buharlaşma teknolojisini birleştirir ve farklı substratların yüzeylerine ince filmler verimli ve doğru bir şekilde birikebilir. Bakır ve alüminyum gibi metal kaplamaların üretiminde yaygın olarak kullanılır. Bu sistem sayesinde, özellikle büyük ölçekli üretim ihtiyaçları için uygun olan çift taraflı bakır ve alüminyum kaplamaların yüksek kaliteli kaplaması elde edilebilir. Bu sistemin üretim kapasitesi ayda yaklaşık 710.000 metrekareye ulaşabilir ve bu da büyük ölçekli üretim ihtiyaçlarını etkili bir şekilde karşılayabilir. Etkili kaplama genişliği 1300 mm'dir ve hat hızı dakikada 15 metreye kadardır. Kaplama işlemi sırasında düzgün ve yüksek hassasiyetli ince film birikimi elde edebilir. İster seri üretim ister yüksek hassasiyetli ürünler olsun, istikrarlı ve verimli performans sağlayabilir.

Kaplama işlemi elektron ışını buharlaşmasını ve püskürtme teknolojisini birleştirir. Vakum ortamında, yüksek enerjili elektronlar veya lazerler hedef malzemeyi bombardırır, böylece yüzey atomları veya iyonları substrat üzerine buhar birikimi şeklinde birikir ve mükemmel performansa sahip ince bir film oluşturur. Elektron ışını buharlaşması, bir hedef malzemeyi bir elektron ışını ile ısıtarak ve buharlaştırarak bir substrat üzerinde ince bir film oluşturan bir teknolojidir. Bu işlemde, elektron ışını çok yüksek bir enerji seviyesine hızlandırılır ve daha sonra hedef malzemenin yüzeyine odaklanır. Hedef malzeme hızlı bir şekilde buharlaşma noktasına ısıtılır ve yüzeydeki atomlar veya moleküller gaz formunda salınır ve ince bir film oluşturmak için soğutulmuş substrat üzerine biriktirilir. Püskürtme teknolojisi, hedef malzemeyi yüksek enerjili parçacıklarla bombalayan bir teknolojidir, böylece yüzey atomları veya iyonları atomik kümeler şeklinde salınır ve substrat üzerine biriktirilir. Genellikle, püskürtme işlemi, hedef malzemeyi bombalamak için iyonlar veya elektron ışınları kullanılarak düşük basınçlı bir atmosferde gerçekleştirilir, böylece hedef malzemenin yüzeyindeki atomlar ayrılır ve ince bir film oluşturur. Kaplama işleminde, elektron ışını buharlaşma teknolojisi metal tabakayı verimli bir şekilde biriktirebilirken, püskürtme teknolojisi fonksiyonel ince filmlerin eşit birikmesini sağlayabilir. İkisinin kombinasyonu üretim verimliliğini önemli ölçüde artırabilir, malzeme atıklarını azaltabilir ve maliyetleri azaltabilir.

Film katmanının bileşimi, bir yapışma tabakası (SP), bir elektrot tabakası bakır (buharlaşma) ve filmin yüksek yapışma ve stabil elektriksel iletkenliğini sağlayan koruyucu bir katman (SP) içerir. Filmin yüksek performansını sağlamak için ekipman, film kalınlığı dağılımı doğruluğu ile hassas film kalınlığı kontrolü sağlar. ± %10, talep eden uygulamalar için gereklidir. Hassas film kalınlığı kontrolü, farklı alanlarda filmin tekdüzeliğini sağlar, iletkenlikte farklılıklardan veya eşit olmayan film katmanlarının neden olduğu diğer kalite sorunlarından kaçınır. Ayrıca, film direnci 25m'de kontrol edilebilir Ω birçok geleneksel malzemenin direncinden çok daha düşük olan, kaplamanın son derece yüksek iletkenliğe sahip olmasını sağlar. Direnci tam olarak kontrol ederek, ürünün uzun süreli kullanım sırasında mükemmel iletkenliği koruması, ekipman verimliliğinin düşüşünden veya aşırı dirençten kaynaklanan arızadan kaçınması sağlanabilir.

Ekipman, PET/PP filmleri dahil olmak üzere çeşitli substratlar üzerinde 3 kalınlık aralığında kaplanabilir. μ M ila 12 μ M. Esnek elektronik, güneş pilleri, dokunmatik ekranlar, sensörler ve diğer alanlar olsun, yüksek kaliteli kaplama efektleri sağlayabilir. Sistemin çalışma hava basıncı 0.005 ila 0.01Pa düşük basınç aralığında tutulur ve bir vakum ortamında hassas kaplama işlemesi sağlar. Aynı zamanda, film katmanı ile substrat arasındaki yapışmayı daha da iyileştirmek için İyon Bombardıman Yüzey Tedavi Teknolojisi ile donatılmıştır, bu da kaplamanın dayanıklılığını ve yüksek performansını sağlar.